山东博山工业真空设备厂

 一、JSJX型罗茨旋片真空机组的产品介绍：

　　JSJX型罗茨旋片真空机组是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。使用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性气体，广泛应用于需要大抽速和高真空的各种真空系统中。如：真空冶炼、电力电容器、变压器、真空浸渍处理、真空镀膜设备中的预抽等。

真空系统螺杆式干式真空泵

真空系统螺杆式干式真空泵(详情请参考我公司网：www.zvep.com)主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动从动转子旋转。同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。一对旋向相反.由泵的两端盖的轴承支撑旋转的螺杆，将被抽气体吸入，通过气体吸入.压缩.排气三个过程，达到抽气的目的。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的替代产品。

螺杆式真空泵分为等螺距和变螺距干式罗杆真空泵，螺杆式真空泵设计紧凑，运行高效，螺杆与轴一体加工。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，该系列泵可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。

干式螺杆真空泵的典型应用：

  • 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺

  • 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等

  • 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染

  • 化学和医药流程

  • 溶剂回收

  • 成型、结晶、干刻、溅镀、蒸气回收、空中模拟